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공정용장비 Process Equipment

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TAPE MOUNTER MANUAL

페이지 정보

작성일 : 16-08-26 13:15

본문

TAPE MOUNTER Manual

TAPE MOUNTER Manual
KPM - PRODUCT SERIES TAPE MOUNTER Manual
Dicing 공정을 하기위해 Wafer와 Dicing Tape를 Dicing Frame에 고정하는 설비 입니다. Wafer Chuck 부분의 텐션 및 실리콘 로라의 텐션으로 마운트시 Wafer의 손상이 없으며 Tape 원형 컷팅시 정원으로 컷팅되어 Tape 이물이 나오지 않습니다.
  • TAPE MOUNTER 상세사진 1
  • TAPE MOUNTER 상세사진 2
  • TAPE MOUNTER 상세사진 3
  • TAPE MOUNTER 상세사진 4

Main Specifications

TAPE MOUNTER Manual Main Specifications : NO, CATEGORY, KPM-60, KPM-80으로 구성된 주요스펙 입니다.
NO CATEGORY KPM-60 KPM-80
1 Wafer Size (ID: 170/178 , OD: 178/186) Wafer Size 2~4 inch (ID: 225/233 , OD: 233/241) Wafer Size 2~6 inch
2 Film Size 230mm 300mm
3 Temperature 30℃ ~ 100℃
4 Cutter Manual
5 Utility 220V 5A 60㎐, Vacuum 60Kpa
6 Dimension 363mm(W) X 757mm(D) X 351mm(H) 430mm(W) X 748mm(D) X 370mm(H)
7 Weight 35Kg 39Kg
8 Roller Silicon